宇佑科技股份有限公司

在半導體製程中，大量使用 HF、HCl、H₂SO₄、NH₄OH、IPA、DI Water 等化學液體，一旦發生漏液，不僅可能造成設備停機，更可能影響產品良率、人員安全及環境污染。因此，漏液感測器（Leak Detection Sensor）已成為現代半導體設備的重要安全元件。

AZBIL HPQ-D11 系列為放大器內藏型漏液感測器，適用於化學供液系統、Wet Bench、Chemical Cabinet、CMP、蝕刻設備及各類化學藥液設備，可即時偵測漏液並輸出警報訊號，大幅降低設備風險。

什麼是漏液感測器（Leak Detection Sensor）？

漏液感測器是一種用於偵測液體是否異常洩漏的工業感測器，主要安裝於設備底部、配管接頭、閥件附近或化學液輸送管線下方。

當化學液接觸感測面時，感測器立即輸出訊號至 PLC、DCS 或設備控制器，觸發警報、停止供液或關閉設備，以避免事故擴大。

為什麼半導體設備需要漏液感測器？

半導體製程對化學液使用量極大，包括酸、鹼、有機溶劑及超純水，每一項設備都可能因接頭老化、管路破裂或維修不當而產生漏液。

若未及時偵測，可能造成：
♦ 設備停機造成產能損失
♦ 晶圓污染導致良率下降
♦ 化學藥液腐蝕設備
♦ 危害操作人員安全
♦ 造成高額維修成本
♦ 環境污染及法規風險
因此，目前多數半導體設備均將漏液感測器列為標準配置。

AZBIL HPQ-D11 特色

AZBIL HPQ-D11 適用設備

漏液感測器建議安裝位置

為提高設備安全性，建議安裝於：

AZBIL HPQ-D11 的優勢

常見應用案例

1. Chemical Cabinet

偵測藥液桶、閥件及配管接頭漏液。

2. Wet Bench

監控 HF、HCl 等酸鹼液是否洩漏。

3. CMP 設備

保護化學液供應系統，避免設備污染。

4. 晶圓清洗設備

即時偵測 DI Water 或藥液外漏。

如何選擇漏液感測器？

選型時應考慮：

FAQ

AZBIL HPQ-D11 可以偵測哪些液體？
適用於多種化學藥液及 DI Water 漏液偵測，實際應用仍需依使用環境及液體特性確認。

漏液感測器一定要接 PLC 嗎？
通常會接至 PLC、設備控制器或警報系統，當漏液發生時可立即停機並發出警報。

漏液感測器多久需要保養？
建議依設備 PM 計畫定期清潔感測面，並確認感測功能正常。

哪些產業最常使用 HPQ-D11？
半導體、面板、PCB、化工、生技製藥及各類化學設備均廣泛採用。

結語
隨著半導體製程朝向高價值、高精度及高可靠度發展，漏液感測器已成為設備不可或缺的重要元件。AZBIL HPQ-D11 憑藉放大器內藏設計、耐化學材質與高可靠度漏液偵測能力，能有效協助設備製造商及終端使用者降低停機風險、提升設備安全與製程穩定性。

延伸閱讀