我什麼時候應該在 WaferID 應用程式上使用紅外線照明?哪些狀況不適合使用?
回答：
• 在後處理晶圓中，晶圓表面塗覆的抗蝕劑沉積可能會使符號變得模糊。
解決方案：
(1)紅外線輻射具有很高的透射率，可以穿透抗蝕劑薄膜，如果紅色照明型號不能按預期讀取符號，則值得嘗試具有紅外線照明的型號 (In-Sight 1722/1742)。
(2)另一方面，紅外線照明模型的影像感測器靈敏度比紅色照明模型低，這往往會導致影像較暗。如果您不打算傳輸抗蝕劑，紅色照明可能會導致更高的讀取率。建議對兩種模型進行比較和驗證。
