透過高精度CIS(Contact Image Sensor)線掃光學模組,本系統實現自動化檢測BGA封裝中的**錫球印刷偏移(Printing Shift)與錫球位置偏移(Ball Shift)**問題。相較傳統AOI方案,CIS模組具備:
♦ 全幅掃描無畸變、解析度高達1200dpi以上
♦ 適用於大尺寸或多列BGA封裝掃描
♦ 結合AI演算法自動判別偏移值、超出規格即警示
適用於晶圓級封裝、BGA reballing、模組封裝等製程的品質控管關卡,有效提升生產品質穩定度與良率。
Auto check BGA printing shift 錫球檢測
檢測規格:
wafer size:12"
BAll size:60~120um
Function:Ball shift | Missing Ball
Inspection Module
Sensor size:400mm
Optionl:20um
WD:20mm
DOF:±0.5mm
本次應用採用CIS影像感測模組 (Contack Image Sensor)

參考資料
► CIS線掃描模組介紹 | 空間精簡、高穩定性的光學掃描解決方案
► 什麼是CIS線掃描相機?
► 12吋晶圓飛拍系統(On-The-Fly Inspection System)設計指南