晶圓可追溯性

晶圓可追溯性

以一致的方式將晶圓 ID 標記解碼，就能在切割流程之前可靠地追蹤晶圓


In-Sight 1740 Conversion Guide

In-Sight 1740 Wafer ID 設定手冊


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詳細資訊

晶圓的 ID 號碼會以鐳射標記在矽碟的一小塊區域。這些條碼不是英數字元，就是 DataMatrix 碼，並可在晶圓切割之前，用來在前端製程期間全程追蹤晶圓。歷經不同的光罩、刻蝕及光刻製程後，晶圓 ID 可能會劣化，在晶圓的反光背景下變得難以解碼。

​康耐視 In-Sight 1740 系列晶圓讀碼器採用專為晶圓識別開發的先進演算法，在切割晶圓之前，提供光學字元辨識 (OCR) 與二維讀碼功能。這些晶圓讀碼器使用適合的集成光源與圖像處理功能，可為各種不同的標記方法提供最佳的成像系統，包括英數與 SEMI-T7 DataMatrix 碼。In-Sight 1740 能自動順應因不同處理步驟造成的標記外觀變化，因此可減少無法讀到資料的情況，幾乎無需進行機器協助，並使機器運轉時間達到最長。In-Sight 1740 可確保迅速又準確地讀取條碼，提供準確的晶圓可追溯性。
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