TSMC Maglev Position 監控系統

TSMC Maglev Position Sensing System

TSMC 磁浮定位感測系統 (Maglev Position Sensing System) 採用先進的磁浮技術與高精度感測系統,為半導體生產提供穩定、非接觸式的定位控制解決方案,有效支援高效能晶圓生產與精密設備運行。

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