一、可穿透真空視窗 (Vacuum Viewport) 的雙模式雷射測距感測器
這種雷射感測器不僅能偵測物體距離的變化、存在有無，還能在穩定的背景條件下偵測光的強度變化，因此相當適合用於偵測透明或亮面反光物。
為了實現這一功能，必須先記錄其距離和光強度作為參考門檻值。當透明或亮面反光晶圓進入雷射光束的感測範圍時，來自背景條件的距離和光強度會發生變化，從而進行偵測。
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二、可穿透真空視窗 (Vacuum Viewport) 的透明物檢測光電感測器
同軸光學設計的反射片型光電感測器。具透明物體偵測功能的發射/接收光線沿單一狹窄同軸光線而行，能顯著降低來自外部其他散射光的錯誤檢出風險，從而優化透明晶圓的偵測。
此外，此單一同軸窄光束的特性使其可透過小孔偵測，適用於真空腔體的應用。
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三、真空腔體專用光纖
在光纖的方案中，光纖放大器安裝在真空腔體外部，真空級玻璃光纖管的特殊功能，將光纖光線引入腔體內部。 光纖將光線照向真空級反射片，偵測在光纖管和反射片之間通過的玻璃基板和亮面反光晶圓。
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