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BANNER產品問與答 討論區
偵測在真空玻璃chamber裡面的晶圓有無 
發表人:半導體廠製程改善 
文章編號:191
發表時間:2015/7/7 下午 05:55:45
人氣:1298

我們的產品應用是要偵測在真空玻璃chamber裡面的晶圓有無, 隨著製程演進, 因為蝕刻等等的關係晶圓會漸漸由亮面銀色變成暗黑色, 影響既有感測器的偵測造成誤判, 希望Banner能提供一個適合我們的穩定的檢測方案 


發表人: 
文章編號:191
發表時間:2015/7/7 下午 05:55:45

透過全新的技術, BANNER Q4X雷射測距感測器可以透過玻璃Chamber偵測到裡頭的晶圓, 而且不會受到晶圓顏色以及反射度變化而去影響判讀的精準度, 是您應用的最佳解決方案



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